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α-Si TFT结构
时间:2024-07-01 浏览:43 来源:本站原创
1.一般由栅电极、栅绝缘层(SiNx或SiOx)、有源层(a-Si:H层)、欧姆接触层(n+ a-Si :H)以及源漏电极等几个主要部分组成。
2. 工艺简单,玻璃基板成本低,导通比大,可靠性高,容易大面积化。

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