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α-Si TFT结构
时间：2024-07-01 浏览：158 来源：本站原创
1.一般由栅电极、栅绝缘层（SiNx或SiOx）、有源层（a-Si：H层）、欧姆接触层（n+ a-Si ：H）以及源漏电极等几个主要部分组成。
2. 工艺简单，玻璃基板成本低，导通比大，可靠性高，容易大面积化。
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